1.0.1 为规范薄膜陶瓷基板工厂工程建设中设计内容、设计深度
和厂房设施要求,做到技术先进、安全适用、经济合理、环保节能,
制定本标准。
1.0.2 本标准适用于新建、扩建和改建的采用薄膜工艺制造陶瓷
基板工厂的工程设计。
1.0.3 薄膜陶瓷基板工厂设计除应符合本标准外,尚应符合国家
现行有关标准的规定。
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1.0.1 为规范薄膜陶瓷基板工厂工程建设中设计内容、设计深度
和厂房设施要求,做到技术先进、安全适用、经济合理、环保节能,
制定本标准。
1.0.2 本标准适用于新建、扩建和改建的采用薄膜工艺制造陶瓷
基板工厂的工程设计。
1.0.3 薄膜陶瓷基板工厂设计除应符合本标准外,尚应符合国家
现行有关标准的规定。
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